iPUMA-HP是尊龙凯时在已有成熟大束流的基础上，，刷新成12英寸氢离子大束流离子注入机。。。。该装备配备了优异的粒子筛选和冷却模？？？，，知足薄膜转移手艺工艺中颗粒数和工艺温度的控制，，还能够通过硬件升级提升产能的需求，，已在大硅片制造中应用。。。。
海内自主研发的热工艺离子注入平台
工艺温度控制模？？？
优异的工艺温度匀称性
知足先进制程的手艺需求
