HSDS系列研磨液供应系统接纳客制化、模浚块化设计，，，设置无邪，，，具有实时、高精度在线配比系统，，，可实现浓度、流量、压力等参数闭环控制，，，知足半导体制造历程中湿法工艺装备的研磨液等供应需求，，，操作维护便捷，，，具有高可靠性、清静性和低维护保养本钱，，，设置无邪等优点。。。。。
实时、高精度在线配比系统
各项参数闭环控制
高可靠性、清静性和低维护保养本钱
设置无邪
